교과목 소개

교과목에서는 Etching, Deposition, Bulk/Surface Micromachining 방법 등 다양한 반도체 공정을 이용한 MEMS(Micro Electro Mechanical System) 소자를 배우게 된다. MEMS 기술은 공학의 새로운 지평을 열어준 복합적이면서 필수적인 학문이다. 교과 내용은 다양한 센서 및 액추에이터의 기본 동작 원리 및 제작 방법을 포함하며, 마이크로유체 소자 등 생물학 및 의학 응용을 위한 다양한 응용 소자 제작 방법을 다룬다.